当日すぐには判断できない傷もあると思うので、立ち会い後に精査、場合によっては工務店の方などにも見てもらい原状回復にかかる費用を明らかにしてから後日精算、銀行振込での返金が良いと思います。あとは傷を見つけたら入居者さんと一緒に傷が存在していることを確認して、写真を撮り、共通認識を取れるようにしておくと良いと思います。なお、入居者さんが火災保険加入している場合には、通常の経年劣化でない何らかの事故（引っ越し時に机を動かしていて不注意で壁にぶつかって穴をあけてしまったなど）は入居者さんの保険申請で保険が降りるケースもあるので、火災保険加入有無を確認し、加入している場合には大家から請求させてもらうがその分を保険会社に申請して保険が降りる可能性がある旨を説明すると良いと思います。